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公开/公告号CN103415765B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN201280012144.8
发明设计人 福武直树;
申请日2012-03-07
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人陈海红
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:53:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-22
授权
2013-12-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/65 申请日:20120307
实质审查的生效
2013-11-27
公开
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机译:扫描非线性介电显微镜通过检测高阶非线性介电常数观察金属-SiO_2-SiN-SiO_2-Si闪存中累积电荷
机译:扫描非线性介电显微镜通过检测高阶非线性介电常数观察金属-SiO2-SiN-SiO2-Si闪存中累积的电荷
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