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非线性显微镜及非线性观察方法

摘要

为了提高光轴方向的分辨率,本发明的非线性显微镜的一个形态具备:照明单元(20,19),将从光源(11)供给的照明光(L1、L2)会聚在被观察物(10)上,在该会聚点(S1)发生相干的非线性光学过程;检测单元(27),接受在上述非线性光学过程中发生的相干的物体光(Lr),生成表示该受光部处的光强度的信号;以及,控制单元(15,28),在上述会聚点扫描上述被观察物中的被观察面(10A),计测上述被观察面上的上述信号的分布;从上述光源朝向上述被观察物的上述照明光的光程和从上述被观察物朝向上述受光部的上述物体光的光程的至少一方被双重化为一对光程,这一对光程的关系设定成相对于上述被观察面对称关系。

著录项

  • 公开/公告号CN103415765B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社尼康;

    申请/专利号CN201280012144.8

  • 发明设计人 福武直树;

    申请日2012-03-07

  • 分类号

  • 代理机构北京市中咨律师事务所;

  • 代理人陈海红

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 09:53:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-22

    授权

    授权

  • 2013-12-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/65 申请日:20120307

    实质审查的生效

  • 2013-11-27

    公开

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