公开/公告号CN104198054B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN201410428016.2
申请日2014-08-27
分类号G01J9/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯;张宁展
地址 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 09:53:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
授权
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/00 申请日:20140827
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 波前测量装置,波前测量方法,光学元件的制造方法,光学元件的物理参数的测量方法以及光学系统组装调整装置
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