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可移动式高功率激光光束波前测量装置及其测量方法

摘要

一种可移动式高功率激光光束波前测量装置,待测高功率激光光束通过缩束器后由聚焦透镜聚焦,然后通过光学衰减片调整光强以后经过分光棱镜分成两束,利用其中一个光斑探测器探测待测光束的焦点位置进行光路调整,当待测光束的焦点位置调整到校准的焦点位置时代表光路定位完成,此时利用另外一个光斑探测器记录一幅待测光束经过随机相位板后的衍射光斑即可获得待测光束的波前测量。此装置固定在一个多孔固定板上,经过一次校准以后可以移动进行波前测量,十分便携,适用于连续和脉冲激光光束测量,成本低于现有常用的干涉测量波前仪器,并且分辨率高。由于装置结构简单、体积小,满足于高功率激光驱动器中光束波前测量的要求。

著录项

  • 公开/公告号CN104198054B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201410428016.2

  • 发明设计人 陶华;潘兴臣;刘诚;朱健强;

    申请日2014-08-27

  • 分类号G01J9/00(20060101);

  • 代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;

  • 代理人张泽纯;张宁展

  • 地址 201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱

  • 入库时间 2022-08-23 09:53:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-15

    授权

    授权

  • 2015-01-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/00 申请日:20140827

    实质审查的生效

  • 2014-12-10

    公开

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