公开/公告号CN1224079C
专利类型发明授权
公开/公告日2005-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN02160578.5
发明设计人 黄河;
申请日2002-12-30
分类号H01L21/027;H01L21/8246;G03F1/00;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈亮
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-23 08:58:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-01-04
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/027 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2005-10-19
授权
授权
2004-09-22
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-07-14
公开
公开
机译: 双层金属用于ROM编码
机译: 用于执行ROM编码的双层金属制造工艺
机译: 编码孔径光罩,用于基于辐射的医学成像