法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01F3/02 授权公告日:20170308 终止日期:20190420 申请日:20150420
专利权的终止
2017-03-08
授权
授权
2017-03-08
授权
授权
2017-02-15
著录事项变更 IPC(主分类):B01F3/02 变更前: 变更后: 申请日:20150420
著录事项变更
2017-02-15
著录事项变更 IPC(主分类):B01F 3/02 变更前: 变更后: 申请日:20150420
著录事项变更
2017-02-08
著录事项变更 IPC(主分类):B01F3/02 变更前: 变更后: 申请日:20150420
著录事项变更
2017-02-08
著录事项变更 IPC(主分类):B01F 3/02 变更前: 变更后: 申请日:20150420
著录事项变更
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):B01F3/02 申请日:20150420
实质审查的生效
2015-08-19
实质审查的生效 IPC(主分类):B01F 3/02 申请日:20150420
实质审查的生效
2015-07-22
公开
公开
2015-07-22
公开
公开
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机译: 混合气体的供给方法以及具备该方法的混合气体的供给装置和半导体制造装置
机译: 混合气体供给装置中的成分变化调整方法及混合气体供给装置
机译: 混合气体供给装置中的成分变化调整方法及混合气体供给装置