一种多级降压收集极Cu电极表面采用石墨烯处理的方法

摘要

本发明公开一种多级降压收集极Cu电极表面采用石墨烯处理的方法，涉及真空电子技术，是新型的可用于高效率行波管的收集极处理工艺。本发明采用石墨烯材料涂层可接对无氧铜电极进行处理，有利于抑制二次电子发射，提高多级降压收集极的回收效率，进而提高行波管的总效率。本发明的方法过程简单、工艺可控，成本低廉，处理的多级降压收集极可获得与采用石墨材料的收集极等同的抑制二次电子发射的效果。该技术除了具有传统石墨材料收集极的优点外，还有更高的机械、导电、导热性能，解决了结构疏松、强度较低，在电子束长期轰击下容易产生石墨微尘的问题，可有效提高行波管效率和可靠性。