法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C08G 77/62 授权公告日:20170215 终止日期:20181119 申请日:20131119
专利权的终止
2017-02-15
授权
授权
2017-02-15
授权
授权
2014-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C08G77/62 申请日:20131119
实质审查的生效
2014-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 77/62 申请日:20131119
实质审查的生效
2014-04-16
公开
公开
2014-04-16
公开
公开
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机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,半导体装置的制造方法
机译: 聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液,聚硅氮烷或聚硅氮烷溶液的处理方法以及半导体装置的制造方法