公开/公告号CN104388898B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 湖北大学;
申请/专利号CN201410570903.3
申请日2014-10-23
分类号C23C14/28(20060101);C23C14/06(20060101);H01L31/0296(20060101);H01L33/28(20100101);
代理机构11335 北京汇信合知识产权代理有限公司;
代理人夏静洁
地址 430000 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号
入库时间 2022-08-23 09:51:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-01
授权
授权
2015-04-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/28 申请日:20141023
实质审查的生效
2015-03-04
公开
公开
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