一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器

摘要

一种自增强圆筒式双液体腔结构的耐高温超高压力传感器，包括底座，支架套筒连接在底座上，支架套筒设有下充液体孔，承压圆筒置于支架套筒内，其承压孔与底座的通孔对齐，烧结座连接在支架套筒上，烧结座的下台阶孔台开有烧结孔，下台阶孔通过液体通孔连通至上台阶孔，上台阶孔侧壁设有上充液孔，烧结柱固定在烧结孔中，顶盖连接在烧结座上，敏感元件贴合在下台阶孔的台阶面上，敏感元件上的惠斯通电桥通过烧结柱连接至外部电路，承压圆筒、底座、支架套筒、下台阶孔与敏感元件围成的腔体构成下液体腔，顶盖、上台阶孔、液体通孔与敏感元件围成的腔体构成上液体腔，下、上液体腔中充满可压缩液体，双液体腔结构形成高温补偿结构，改善测量误差。