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真空条件下单颗粒粘附力和带电量的测试系统及测试方法

摘要

本发明公开了一种真空条件下单颗粒与平板材料之间粘附力和颗粒带电量的测试系统,包括真空容器,真空容器内的一对平行电极板,两电极分别通过导线与真空容器外的直流电源电连接并通过该电源加载电压,使两电极之间产生均匀电场,真空容器内还设置有紫外光源或电子枪使单颗粒荷电,真空容器外还设置有颗粒运动摄录装置。本发明还公开了测试方法。与现有技术相比,本发明的测试系统的测试环境与真实环境较接近,测试结果符合度较好,且测试装置简单,在任何真空容器中均可实施,无需使用昂贵的原子力显微镜,也无需对探针区域做真空改造。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-01-25

    授权

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  • 2015-04-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/00 申请日:20140530

    实质审查的生效

  • 2014-08-13

    公开

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