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公开/公告号CN103811985B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201410077521.7
发明设计人 谭满清;杜峰;焦健;郭小峰;郭文涛;孙宁宁;
申请日2014-03-05
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:50:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-18
授权
2014-06-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/067 申请日:20140305
实质审查的生效
2014-05-21
公开
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