表面精密抛光装置及表面精密抛光用传动装置

摘要

本发明提供了一种表面精密抛光装置及表面精密抛光用传动装置，所述表面精密抛光用传动装置用以驱动加工机构对加工对象进行精密抛光，包括了定子机构、转子机构和摆子机构，所述转子机构绕所述定子机构的轴心旋转，所述摆子机构与转子机构通过磁悬浮连接，且所述摆子机构通过磁悬浮相对于所述转子机构绕自身的轴心旋转，所述摆子机构的旋转轴心绕所述转子机构的旋转轴心旋转，所述摆子机构与所述加工机构连接。本发明一方面通过磁悬浮技术的引入，使得超高的转速成为了可能，并最大限度的降低机械故障率和维护成本；另一方面，本发明利用定子机构、转子机构以及摆子机构之间的偏心双重转动，解决了运动方式单一的问题。