公开/公告号CN104169779B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 美国埃尔比特系统有限责任公司;
申请/专利号CN201280065256.X
发明设计人 迈克尔·M·蒂勒曼;乔恩·R·莱福德;
申请日2012-11-07
分类号G02B27/01(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人康建峰;韩雪梅
地址 美国德克萨斯州
入库时间 2022-08-23 09:49:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
授权
2014-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 27/01 申请日:20121107
实质审查的生效
2014-11-26
公开
公开
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: 使用包括衍射光学元件图案的光学组件投影合成图像和风景图像的系统和方法