反射镜驱动设备、驱动该反射镜驱动设备的方法和制造该反射镜驱动设备的方法

摘要

本发明一个方面提供一种反射镜驱动设备，包括：反射镜部分，所述反射镜部分具有反射光的反射面；一对压电致动器部分，该对压电致动器部分布置在反射镜部分的两侧；多个连结部，所述多个连结部将压电致动器部分中的每一个的一端分别连接到反射镜部分的端部，所述反射镜部分的所述端部在沿着反射面且垂直于反射镜部分的旋转轴线的方向上远离所述旋转轴线；固定部，所述固定部支撑压电致动器部分中的每一个的另一端；和垂直运动限制结构，所述垂直运动限制结构限制反射镜部分的旋转轴线在垂直于反射面的方向上的平移运动，且垂直运动限制结构的一端连接到固定部，而所述垂直运动限制结构的另一端连接到反射镜部分。