微型植入式超声共振无线能量传送接收器及其制备方法

摘要

本发明涉及了一种微型植入式超声共振无线能量传送接收器及其制备方法，该接收器由超声换能器模块与支撑框架组成，超声换能器模块是将压电材料以导电方式键合于硅基底上，通过精细机械打磨技术控制压电薄膜厚度，硅基底背面通过刻蚀方式制作与压电膜耦合的共振腔，通过控制压电膜的厚度与硅共振腔的参数来匹配不同的超声频率；支撑框架是由生物相容材料浇铸而成的立体中空框架，用以安装超声换能器模块，通过将共振薄片安置在不同外形结构的框架上能实现体内无死角的超声能量传输。本发明可以实现体内植入式电子设备的体外无线能源供应，且该能量传输方案受体内设备埋入深浅的影响小，对人体无伤害且没有发射端位置对准的要求。