法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-26
授权
授权
2015-05-13
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/00 变更前: 变更后: 申请日:20130313
著录事项变更
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20130313
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 用于使用单频射频功率处理晶片的等离子体处理系统,用于蚀刻晶圆的等离子体处理装置以及用于使用单频射频功率的等离子体处理腔室中的晶片的方法
机译: 等离子体处理系统,通过使用控制等离子体的方法,控制等离子体处理系统中等离子体中的等离子体的方法,以及制造半导体器件的方法
机译: 用于检测对象中的不对称性的设备,用于检测不对称性的方法,计算机可读的介质,该计算机具有用于检测脑疾病的软件和系统。