大阵列高均匀性微透镜阵列制备方法

摘要

本发明公开了一种大阵列高均匀性微透镜阵列制备方法，该方法中，在微透镜成型之前，预先在晶圆表面和微透镜材料层之间设置了混合物涂层，通过混合物涂层来抑制微透镜材料在熔融状态下的流动性；本发明的有益技术效果是：提供了一种新的微透镜阵列制备方法，采用该方法制作处的微透镜阵列，其上不同位置处的微透镜形貌一致性、聚光效果及均匀性都较好。