公开/公告号CN103579098B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-05
原文格式PDF
申请/专利权人 格罗方德半导体公司;
申请/专利号CN201310325245.7
申请日2013-07-30
分类号
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址 英属开曼群岛大开曼岛
入库时间 2022-08-23 09:47:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/768 授权公告日:20161005 终止日期:20190730 申请日:20130730
专利权的终止
2016-10-05
授权
授权
2016-10-05
授权
授权
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20130730
实质审查的生效
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20130730
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
2014-02-12
公开
公开
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机译: 减小角部接口处互连材料的可湿性的方法和装置包含相同的材料
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