法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-28
授权
授权
2016-01-20
著录事项变更 IPC(主分类):G01B 11/02 变更前: 变更后: 申请日:20140123
著录事项变更
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20140123
实质审查的生效
2014-04-30
公开
公开
机译: 零差激光干涉仪探头和使用该探头的位移测量系统
机译: 外差光栅干涉仪位移测量系统
机译: 三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统