使用硅纳米颗粒制造太阳能电池的激光接触工艺、激光系统和太阳能电池结构

摘要

本发明公开了一种激光接触工艺，采用所述激光接触工艺以形成到达太阳能电池发射极的接触孔(402)。在所述太阳能电池的基板上形成掺杂硅纳米颗粒。用纳米颗粒钝化膜涂覆硅纳米颗粒的单个颗粒或颗粒簇的所述表面(403)。通过将激光束照射到所述已钝化的硅纳米颗粒上而形成到达所述太阳能电池的所述发射极的接触孔(404)。例如，所述激光接触工艺可以是激光烧蚀工艺。在该情况下，可通过使来自所述硅纳米颗粒的掺杂物扩散来形成所述发射极，随后形成到达所述发射极的所述接触孔。作为另一个例子，所述激光接触工艺可以是激光熔融工艺，借此将所述硅纳米颗粒的一部分熔融以形成所述发射极和到达所述发射极的接触孔。