结合几何标定的相位测量轮廓术系统非线性校正方法

摘要

本发明公开了一种结合几何标定的相位测量轮廓术系统非线性校正方法。用相位测量轮廓术对标靶进行扫描，得到准确相位、平均亮度和亮度调制，分别利用准确相位和平均亮度对投影装置和摄像装置进行标定，根据准确相位和拍摄的结构光图像获取投影装置的非线性响应，建立灰度查找表，在投射结构光图案进行三维扫描前，利用该查找表对图案的灰度值进行预补偿，从而达到对测量系统进行非线性校正的目的。本发明可用于相位测量轮廓术系统的几何标定和非线性校正。本发明把测量系统的几何标定与非线性校正有机结合起来，具有操作简便，校正精度和执行效率高的优点。