用于光刻机器群集的网络架构和协议

摘要

一种包含一个或多个光刻元件的群集式基板处理系统，每一光刻元件配置成依据图案数据独立曝光基板。每一光刻元件包含多个光刻子系统和控制网络，控制网络配置成在光刻子系统与至少一个元件控制单元之间传送控制信息，元件控制单元配置成向光刻子系统发送命令，光刻子系统配置成向元件控制单元发送响应。每一光刻元件还包含群集前端以作为面向操作者或主控系统的接口，前端配置成用于配发控制信息给至少一个元件控制单元以控制一个或多个光刻子系统对一个或多个晶圆的曝光的操作。前端配置成用于配发处理程序给元件控制单元，处理程序包含一组预定的命令和相关参数，每一命令对应于将被一个或多个光刻子系统执行的预定动作或一连串动作，且参数进一步定义动作或一连串动作如何被执行。