使用辊形状母基板的柔性电子器件的制造方法、柔性电子器件及柔性基板

摘要

本发明的目的在于，解决由现有柔性基板的低的工艺合适温度、高表面粗糙度、高热膨胀系数、不良操作特性的问题而引起的柔性电子器件的性能和收益率低下的问题。本发明的柔性电子器件的制造方法包括：在辊形状母基板上形成柔性基板的步骤；从辊形状母基板分离上述柔性基板的步骤；以及在与上述母基板相接触过的上述柔性基板的分离面上形成电子器件的步骤。