一种VGF/VB法生长前后用安瓿瓶提拉装置

摘要

本实用新型涉及半导体生产治具技术领域，公开了一种VGF/VB法生长前后用安瓿瓶提拉装置，包括筒体，筒体上安装有负压吸附组件和挤压组件，挤压组件包括内筒和多块挤压片，筒体下端固定安装有罩体，罩体顶部设置有多个安装组件，挤压片与安装组件转动连接，内筒滑动设置在筒体内，内筒的底部设置有用于推动挤压片旋转的推杆，负压吸附组件包括柱体、活塞和吸附罩，柱体滑动插设在内筒内，活塞固定安装在柱体的底部，活塞的外侧壁与筒体内侧壁紧密接触，吸附罩固定安装于筒体底部，筒体的内底部开设有通气孔。本实用新型用于解决手工夹取安瓿瓶尾端的方式，将其装填进炉体中，或者将其从炉体中取出，容易导致安瓿瓶尾端碎裂的问题。