一种高温CVD片源散热装置

摘要

本实用新型公开了一种高温CVD片源散热装置，包括散热盘体；所述散热盘体上设置有若干放片槽，所述放片槽的直径大于片源的直径；所述散热盘体的上表面贴有一层铝箔纸。本实用新型通过设计一种散热盘体实现对片源的平面接触散热，通过在散热盘体上设置若干个用于放置片源的放片槽，保证有足够的散热面，提高片源的散热效率，并在散热盘体上表面贴上一层铝箔纸，起到隔热、均匀散热量且保护片源的效果，代替现有采用高温铁氟龙散热卡塞的方式，解决因上下温差片源内裂隐患及装片不当易造成片源金属层划伤影响产品质量的问题，即在提升散热作业效率的同时避免了产品缺陷及质量隐患。

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体电子技术领域，特别涉及一种高温CVD片源散热装置。

背景技术

PECVD等离子增强化学气相沉积是LED行业常用于沉积SiO2薄膜的沉积方法，其沉积温度通常为高温250℃～300℃。由于设备热盘是持续250℃～300℃的工作温度，因此设备本身无片源降温功能，需将片源取出后单独散热。现有的散热是将片源从设备热盘中一片一片取出并装入高温铁氟龙卡塞，散热10分钟再装回原常温周转盒。因片源处于高温时其金属层处于软化状态，在装入高温铁氟龙卡塞时装片不当易造成片源金属层明显划伤，而高温片源是垂直放置于高温铁氟龙卡塞内，会因放置于防静电不绣钢桌面的卡塞内上下温差造成片源内裂隐患，导致片源报废风险，且散热面窄使散热时间较长影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种高温CVD片源散热装置，提升散热作业效率的同时避免产品缺陷及质量隐患。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种高温CVD片源散热装置，包括散热盘体；

所述散热盘体上设置有若干放片槽，所述放片槽的直径大于片源的直径；

所述散热盘体的上表面贴有一层铝箔纸。

进一步地，所述散热盘体的上表面四周对称设置有多个向上的柱体；

多个所述散热盘体通过所述柱体依次叠放。

进一步地，所述散热盘体的下表面四周边缘向下延伸出限位围栏；

所述限位围栏内侧距所述散热盘体中心的距离大于所述柱体外侧距所述散热盘体中心的距离。

进一步地，所述柱体的高度为45～55mm；

所述散热盘体堆叠的层数为四层；

每个所述散热盘体上的所述放片槽均匀设置且数量为六个。

进一步地，所述散热盘体的一侧边缘上的所述限位围栏中部开设有一缺口；

所述缺口处沿着远离所述散热盘体中部的方向延伸出一凸出部。

进一步地，所述放片槽边缘开设有取片孔。

进一步地，述铝箔纸的厚度为0.06～0.08mm。

进一步地，还包括设备操作端和片源桌面；

所述设备操作端用于放置未装片的所述散热盘体以及待散热的片源；

所述片源桌面用于放置已装片的所述散热盘体。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种高温CVD片源散热装置，设计一种散热盘体实现对片源的平面接触散热，通过在散热盘体上设置若干个用于放置片源的放片槽，保证有足够的散热面，提高片源的散热效率，并在散热盘体上表面贴上一层铝箔纸，起到隔热、均匀散热量且保护片源的效果，代替现有采用高温铁氟龙散热卡塞的方式，解决因上下温差片源内裂隐患及装片不当易造成片源金属层划伤影响产品质量的问题，即在提升散热作业效率的同时避免了产品缺陷及质量隐患。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种高温CVD片源散热装置中散热盘体的堆叠示意图；

图2为一种高温CVD片源散热装置中散热盘体的俯视图；

图3为一种高温CVD片源散热装置中散热盘体的主视图；

图4为一种高温CVD片源散热装置中散热盘体的侧视图。

标号说明：

1、散热盘体；11、放片槽；12、取片孔；13、柱体；14、限位围栏；15、凸出部；16、缺口。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1至图4，一种高温CVD片源散热装置，包括散热盘体；

所述散热盘体上设置有若干放片槽，所述放片槽的直径大于片源的直径；

所述散热盘体的上表面贴有一层铝箔纸。

由上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：设计一种散热盘体实现对片源的平面接触散热，通过在散热盘体上设置若干个用于放置片源的放片槽，保证有足够的散热面，提高片源的散热效率，并在散热盘体上表面贴上一层铝箔纸，起到隔热、均匀散热量且保护片源的效果，代替现有采用高温铁氟龙散热卡塞的方式，解决因上下温差片源内裂隐患及装片不当易造成片源金属层划伤影响产品质量的问题，即在提升散热作业效率的同时避免了产品缺陷及质量隐患。

进一步地，所述散热盘体的上表面四周对称设置有多个向上的柱体；

多个所述散热盘体通过所述柱体依次叠放。

由上述描述可知，通过柱体实现多个散热盘体的间隔叠放，增加一次散热的片源数量，进一步提升散热作业效率。

进一步地，所述散热盘体的下表面四周边缘向下延伸出限位围栏；

所述限位围栏内侧距所述散热盘体中心的距离大于所述柱体外侧距所述散热盘体中心的距离。

由上述描述可知，限位围栏可用于在叠放时对柱体进行限位，防止散热盘体滑动，保证叠放后的散热盘体的稳定性。

进一步地，所述柱体的高度为45～55mm；

所述散热盘体堆叠的层数为四层；

每个所述散热盘体上的所述放片槽均匀设置且数量为六个。

由上述描述可知，限定柱体高度、散热盘体堆叠层数及每个散热盘体上均匀设置的放片槽数，以保证一次散热的片源数量不会过多过少，确保最佳的散热效果及散热效率。

进一步地，所述散热盘体的一侧边缘上的所述限位围栏中部开设有一缺口；

所述缺口处沿着远离所述散热盘体中部的方向延伸出一凸出部。

由上述描述可知，通过设置凸出部可方便采用单手握住凸出部从而对散热盘体进行移动、堆叠等操作，且凸出部也可以作为片源放置方向的识别标识。

进一步地，所述放片槽边缘开设有取片孔。

由上述描述可知，通过设置取片孔以方便对片源进行取放，防止取片造成片源的划伤，影响产品质量。

进一步地，所述铝箔纸的厚度为0.06～0.08mm。

由上述描述可知，限定铝箔纸的厚度，保证其具有隔热即均匀热量效果的同时不影响整体散热盘体的厚度。

进一步地，还包括设备操作端和片源桌面；

所述设备操作端用于放置未装片的所述散热盘体以及待散热的片源；

所述片源桌面用于放置已装片的所述散热盘体。

由上述描述可知，在设备操作端对片源进行取放，在片源桌面对片源进行散热，两道工序分工明确，保证片源质量。

本实用新型的一种高温CVD片源散热装置，适用于对CVD片源进行散热、取片的场景，以下结合具体的实施例进行说明：

请参照图1至图4，本实用新型的实施例一为：

一种高温CVD片源散热装置，如图1所示，包括散热盘体1。

其中，散热盘体1上均匀设置有若干放片槽11，放片槽11的直径小于片源的直径，而放片槽11的深度也要与片源的厚度相适应，可以略微大于片源的厚度，以便片源能够完全放置在放片槽11内，同时，散热盘体1的上表面无论是放片槽的上方还是其他地方均贴有一层铝箔纸。

即在本实施例中，设计一种散热盘体1实现对片源的平面接触散热，通过在散热盘体1上设置若干个用于放置片源的放片槽11，保证有足够的散热面，提高片源的散热效率，并在散热盘体1上表面贴上一层铝箔纸，起到隔热、均匀散热量且保护片源的效果，代替现有采用高温铁氟龙散热卡塞的方式，解决因上下温差片源内裂隐患及装片不当易造成片源金属层划伤影响产品质量的问题，即在提升散热作业效率的同时避免了产品缺陷及质量隐患。

其中，在本实施例中，如图1所示，散热盘体1的上表面四周对称设置有多个向上的柱体13，多各散热盘体1通过柱体13依次叠放。即通过柱体13可实现多个散热盘体1的间隔叠放，增加一次散热的片源数量，进一步提升散热作业效率。

同时，每个散热盘体1的下表面四周边缘向下延伸出限位围栏14，且如图3或图4所示，限位围栏14内侧距散热盘体1中心的距离要大于柱体13外侧距散热盘体1中心的距离。即限位围栏14可用于在叠放时对柱体13进行限位，防止散热盘体1滑动，保证叠放后的散热盘体1的稳定性。

另外，如图2所示，散热盘体1上的每个放片槽11的边缘均开设有一取片孔12，可方便对片源进行取放，防止取片造成片源的划伤，影响产品质量。在本实施例中，散热结束后的片源用吸笔插入取片孔12取出，装回原常温周转盒，而此时的片源处于常温，解决了因片源处于高温时其金属层仍处于软化状态下装片不当易造成片源金属层明显划伤的问题。

请参照图1至图3，本实用新型的实施例二为：

一种高温CVD片源散热装置，在上述实施例一的基础上，在本实施例中，如图1所示，散热盘体1堆叠的层数为四层；如图2所示，每个散热盘体1上的放片槽11的数量为六个；如图3所示，柱体13的高度为50mm。

即在本实施例中，与现有原散热采用高温铁氟龙卡塞一次散热24片片源的方式，本实施例限定四层散热盘体1以及每层散热盘体1上为六个放片槽11，同样也能实现一次散热24片源，但相比于现有高温铁氟龙卡塞散热的方式，本实施例的散热盘体1采用平面接触散热，解决了因上下温差造成片源内裂隐患的问题以及片源在高温下装片不当易造成划伤影响产品质量的问题。即本实施例通过限定柱体13高度、散热盘体1堆叠层数及每个散热盘体1上的放片槽11数，在保证一次散热的片源数量不会过多过少的同时，确保最佳的散热效果及散热效率。在其他等同实施例中，柱体13的高度为45～55mm即可。

且在本实施例中，还限定了铝箔纸的厚度为0.07mm，在保证其具有隔热即均匀热量效果的同时不影响整体散热盘体1的厚度。在其他等同实施例中，铝箔纸的厚度为0.06～0.08mm即可。

同时，在本实施例中，还包括设备操作端和片源桌面，其中设备操作端用于放置未装片的散热盘体1以及待散热的片源，片源桌面用于放置已装片的散热盘体1。如图3所示，散热盘体1的一侧边缘上的限位围栏14中部开设有一缺口16；如图4所示，缺口16处沿着远离散热盘体1中部的方向延伸出一凸出部15，即通过设置凸出部15以方便单手对散热盘体1进行移动、堆叠等操作，具体使用过程中，可以通过左手握住凸出部15将散热盘体1移动放置在设备操作端，右手可用吸笔从设备操作端上放置的设备热盘中吸取片源放置到散热盘体1的放片槽11处，当散热盘体1的放片槽11处均放好片源后，再用左手握住散热盘体1将其移动到片源桌面，若此时片源桌面已有散热盘体1，可将此时握住的散热盘体1通过限位围栏14和柱体13的配合叠放在片源桌面上的散热盘体1上方，在片源桌面上的散热盘体1即可进行散热。同时，凸出部15的设置还可以作为片源放置方向的识别标识。

另外，本实施例中通过在设备操作端对片源进行取放，在片源桌面对片源进行散热，两道工序分工明确，能确保散热至常温后的片源再进一步装回常温周转盒，进一步保证片源质量。

综上所述，本实用新型提供的一种高温CVD片源散热装置，具有以下有益效果：

1、提高片源的散热效率；

2、提升片源的产品质量。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。