法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-04
授权
实用新型专利权授予
机译: 一种用于动态生产数据的方法,该方法对存储在容器中的物理量分布的精细模型表示施加了限制,该物理量是基板结构的特征。
机译: 一种测量系统,一种生成学习模型的方法,当执行包括预定结构的半导体的图像测量时使用该学习模型,以及在计算机中生成当执行包括预定结构的半导体的图像测量时使用的学习模型的处理,该学习模型是存储用于执行的程序的存储介质
机译: 用于建立虚拟物理系统的元模型的结构的装置以及用于定义混合系统中的虚拟物理系统的元模型的方法