可应用于高压力检测的压力传感器

摘要

本申请提供一种可应用于高压力检测的压力传感器，包括：第一基片，其底表面向上凹设有凹槽，所述第一基片包括位于中心的岛结构和位于四周的固支结构，所述凹槽位于所述岛结构和所述固支结构之间，且所述凹槽的顶部与所述第一基片的顶表面之间具有第一距离；压阻，嵌设于所述第一基片的顶表面，且位于所述凹槽的上方；应变转移层，设于所述第一基片的上方；第二基片，封盖于所述应变转移层上；第三基片，封盖于所述第一基片的底表面。本申请所述可应用于高压力检测的压力传感器，灵敏度较高。