法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20160817 终止日期:20190109 申请日:20140109
专利权的终止
2016-08-17
授权
授权
2016-08-17
授权
授权
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20140109
实质审查的生效
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20140109
实质审查的生效
2014-06-18
公开
公开
2014-06-18
公开
公开
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机译: 在金属和晶体基底上基于脉冲激光的大面积石墨烯合成方法
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