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基于小尺寸目标基底的大面积石墨烯转移支撑架及方法

摘要

本发明公开了一种基于小尺寸目标基底的大面积石墨烯转移支撑架及方法,在金属基底的石墨烯薄膜表面涂覆一层粘合剂,烘烤;剥离金属基底;将石墨烯/粘合剂薄膜漂洗;将目标基底固定凹槽中;将石墨烯/粘合剂薄膜转移至目标基底将丙酮溶液注入凹槽隔断中,烘烤;去除粘合剂;将石墨烯漂洗,取走支撑架上的小尺寸基底,实现石墨烯薄膜的转移;采用上述方法转移的石墨烯能够具有较大的尺寸(厘米级),保持完整的结构特征,并且操作简单、方便,高效、省时,特别适合数量较多的小尺寸目标基底的石墨烯转移。

著录项

  • 公开/公告号CN103871946B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 山东师范大学;

    申请/专利号CN201410010068.8

  • 申请日2014-01-09

  • 分类号

  • 代理机构济南圣达知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨琪

  • 地址 250014 山东省济南市历下区文化东路88号

  • 入库时间 2022-08-23 09:45:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20160817 终止日期:20190109 申请日:20140109

    专利权的终止

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20140109

    实质审查的生效

  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20140109

    实质审查的生效

  • 2014-06-18

    公开

    公开

  • 2014-06-18

    公开

    公开

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