一种EOD生产用尾气处理装置

摘要

本发明公开了一种EOD生产用尾气处理装置，包括分液罐，分液罐设有进料端和出气端，分液罐的出气端通过管道与洗涤塔Ⅰ下方的进气口Ⅰ连通，洗涤塔Ⅰ内由下至上依次设有填料层、喷淋设备和除雾器，洗涤塔Ⅰ的底部设有存液罐，存液罐内设有碱液，洗涤塔Ⅰ的外部设有循环泵，循环泵的进水端与存液罐连通，循环泵的出水端与喷淋设备连通，洗涤塔Ⅰ的顶部设有出气口Ⅰ，出气口Ⅰ通过管道与洗涤塔Ⅱ的进气口Ⅱ连通，洗涤塔Ⅰ与洗涤塔Ⅱ结构相同，洗涤塔Ⅱ的顶部的出气口Ⅱ通过管道连通有催化氧化设备，催化氧化设备设有废气出口；该方案具有尾气处理效率高且效果好的有益效果。