一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，属于晶圆覆膜领域，包括机架，机架上安装有用于传输薄膜的辊轮，机架上还安装有调节机构，调节机构包括两个沿平行于辊轮的方向同步且反向运动的输出端；调节机构的两个输出端上均安装有用于压紧薄膜的压紧机构。调节机构包括可转动连接在机架上的双向丝杆以及固定在机架上且与双向丝杆机械连接的调节电机；双向丝杆与滚轮平行且相对布置，双向丝杆上两段旋向相反的螺纹上均连接有传动螺母；压紧机构与机架之间设有导向件。压紧机构包括固定在传动螺母上的底座、安装在底座上的直线气缸以及安装在直线气缸的输出端上的压紧块。本实用新型能够高效、精准且无损伤地对薄膜进行张紧。