一种闭环输送系统的稳压装置及闭环输送系统

摘要

本实用新型公开了一种闭环输送系统的稳压装置及闭环输送系统，可以快速置换气体，提高闭环输送系统置换气体的效率，该稳压装置包括：补气调节单元，补气调节单元包括第一气动开关阀和补气调节阀，补气调节阀的进气端连通气源，补气调节阀的出气端与闭环输送系统的进气端连通，第一气动开关阀的进气端与补气调节阀的进气端连通，第一气动开关阀的出气端与补气调节阀的出气端连通；排气调节单元，排气调节单元包括第二气动开关阀和排气调节阀，排气调节阀的进气端连通闭环输送系统的排气端，第二气动开关阀的进气端与排气调节阀的进气端连通，第二气动开关阀的出气端与排气调节阀的出气端连通。