一种游离磨料电磨削多线切割用切削液

摘要

本发明提供了一种游离磨料电磨削多线切割用切削液，属于半导体切割加工领域，主要组成有聚乙二醇、乙二醇、防锈剂、pH值调节剂、能微溶于聚乙二醇或溶于乙二醇的电解质，其组成质量份数为：聚乙二醇（分子量200～400）80～90份，乙二醇5～10份，防锈剂1～2份，pH值调节剂1～5份，电解质0.1～1份。其中，乙二醇作为本切削液的关键成分，能提高切削液中电解质的溶解量，提高电导率和离子含量。本发明的切削液无毒无异味、不挥发、不易燃、化学性能稳定、无腐蚀性，主要用于硅片等半导体材料的多线切割，具有携载能力强、分散性好、散热性好、润滑性好、易清洗等特点。