一种三维纳米尺度光子晶体力传感器

摘要

一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，涉及力的测量领域。本发明是为了解决现有的传感器不能实现多维测量及测量精度低的问题。纳米谐振腔嵌在三个微悬臂梁传感器上；二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且二号基座位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOY平面上，且一号微悬臂梁传感器基座位于Z轴负方向，三号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且L形基座位于X轴正方向，一号微悬臂梁传感器分别垂直于二号微悬臂梁传感器和三号微悬臂梁传感器，且一号微悬臂梁传感器一个侧面与二号微悬臂梁传感器首端侧面、三号微悬臂梁传感器的外侧面位于同一平面内。本发明适用于对三维力进行测量。