公开/公告号CN216320040U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 常熟三爱富氟源新材料有限公司;
申请/专利号CN202122301445.1
申请日2021-09-23
分类号B01D3/14;B01D3/42;B01J4/00;C07C17/25;C07C21/185;
代理机构上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人陈天宝
地址 215522 江苏省苏州市常熟市海虞镇昌虞路3号
入库时间 2022-08-23 06:20:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-19
授权
实用新型专利权授予
机译: 转移装置,基板处理装置及转移方法
机译: 基板搬运装置,基板搬运方法及零件安装装置