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一种气体流量标准系统

摘要

本实用新型公开一种气体流量标准系统,检测单元为若干个,若干检测单元并联设置,检测单元一端连通有被检表,检测单元另一端与真空泵连通;调节装置包括电动调节阀、电磁截止阀;真空泵和检测单元之间安装有电动调节阀;被检表远离检测单元一端安装有电磁截止阀,信息反馈装置包括高精度绝压变送器、温度变送器和绝压变送器,检测单元上设置有高精度绝压变送器、温度变送器和绝压变送器;控制器分别与调节装置、信息反馈装置、检测单元和气源装置电性连接。本装置提高了气体流量标准系统的检测工作效率,也进一步提升了检测能力。

著录项

  • 公开/公告号CN216349015U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-04-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202122986982.4

  • 发明设计人 王维峰;马俊;励争取;

    申请日2021-12-01

  • 分类号G01F25/10;

  • 代理机构北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李娜

  • 地址 315048 浙江省宁波市国家高新区江南路1588号E座

  • 入库时间 2022-08-23 06:15:38

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-19

    授权

    实用新型专利权授予

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