前驱体材料气化特性的测定装置

摘要

本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置，载气储罐，提供载气源；载气流量调节阀，调节载气流量，连接于载气储罐与载气流量计之间；载气流量计，控制载气流量，与前驱体钢瓶连接；气压计，测定前驱体钢瓶内被测样品的气相分压；温度计二，测定前驱体钢瓶内被测样品温度；前驱体钢瓶，置于恒温加热控温模块中，二者置于热重分析仪上；温度计一，测定恒温加热控温模块温度；混合气流量调节阀，调节样品气流量，连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间；颗粒度仪，测定液体前驱体材料汽化后气相产品的颗粒物含量；混合气流量计，与颗粒度仪连接；截止阀，连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。实现全方位评估前驱体材料气化特性。