一种离子轰击装置

摘要

本实用新型公开了一种离子轰击装置，包括加热装置，所述加热装置包括若干发热管、第一外壳和真空室，所述真空室为胶囊状结构，所述真空室包括第二外壳、真空泵、温度传感器和镀膜组件，所述发热管与第二外壳抵接，所述真空泵设于真空室顶面，所述真空泵设有出风口和密封盖板，所述密封盖板设有密封胶圈，所述温度传感器设于真空室底面，所述镀膜组件两侧均匀设有若干镀膜夹具，通过设置加热装置可以加快设备在使用时更快速达到最佳温度。