公开/公告号CN216120245U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州慧捷自动化科技有限公司;
申请/专利号CN202122328156.0
发明设计人 曾航;
申请日2021-09-26
分类号H01L21/677(20060101);H01L21/68(20060101);H05F3/04(20060101);
代理机构32367 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙);
代理人翁德亿
地址 215000 江苏省苏州市工业园区唯亭唯西路55号华园工业坊
入库时间 2022-08-23 05:36:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-22
授权
实用新型专利权授予