公开/公告号CN216084817U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 广州粤芯半导体技术有限公司;
申请/专利号CN202122629052.3
申请日2021-10-29
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/68(20060101);B25J19/00(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人钟玉敏
地址 510000 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
入库时间 2022-08-23 05:31:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
授权
实用新型专利权授予