一种含硅粉的氯硅烷处理系统

摘要

本实用新型公开了一种含硅粉的氯硅烷处理系统，属于多晶硅生产技术领域，包括主过滤器、残液过滤器和储罐，所述主过滤器旁侧设有进料口I；底部设有排出口；上部设有清液移出口I；顶部连接有N2反吹管线，所述残液过滤器包括旁侧设有进料口II；上部设有清液移出口II；底部设有渣料排出口，所述残液过滤器外部设有加热夹套，所述储罐包括进口和出口，所述进料口I连接进料管线，所述排出口连接进料口II，所述清液移出口II连接进口，所述出口通过管道I与进料管线连通，解决现有技术中含氯硅烷的尾气处理系统耗时长，操作人员劳动强度大，氯硅烷损耗较大的问题。