单晶晶棒测径仪校准装置

摘要

本实用新型提供了一种单晶晶棒测径仪校准装置，包括：校准平台，用于放置线纹尺；导向轴，垂直安装于所述校准平台上；调节支座，安装于所述导向轴上，能沿所述导向轴移动，调节与所述校准平台的距离；限位块，经连接件安装于所述调节支座上，用于安装测径仪。测径仪包括：标尺，安装于所述限位块上；游标，与所述标尺适配，滑动安装于所述标尺上；目镜，与所述游标连接，和所述游标同步移动。该校准装置结构简单，操作便捷，可快速、准确的判定测径仪的测量准确性，并判定测量的误差大小，以修订补偿测量结果，进而使得生产过程中测量准确，响应及时，提高生产效率，保证产品质量。