射频等离子体发生器及其反应合成室

摘要

本实用新型公开了一种射频等离子体发生器及其反应合成室，包括第一冷却腔室、第一冷却水入口、第一冷却水出口，第一冷却水入口、第一冷却水出口分别与第一冷却腔室贯通连接，还包括第二冷却腔室、第二冷却水入口和第二冷却水出口，至少部分第二冷却腔室设置于第一冷却腔室内部，第二冷却水入口、第二冷却水出口分别与第二冷却腔室贯通连接，至少部分第二冷却腔室位于第一冷却水入口的相对方向上并与所述第一冷却水入口邻近所述反应合成室的同一端。第二冷却腔室对冷却死区施加额外的强制冷却，避免第一冷却腔室的冷却死区处产生高温，从而避免了纳米颗粒材料板结成块状粉体的现象，达到提高生产效率，同时提高纳米粉体材料的品质的目的。