一种光学元件高透射率高反射率测量装置

摘要

本实用新型公开了一种光学元件高透射率高反射率测量装置，包括有照射光源、第一分光装置、第二分光装置、参考反射装置、标定样品和信号探测装置。高透射率和高反射率检测均可以在本实用新型的测量装置上进行测量，不需要人为介入、调整，使用非常方便。本实用新型利用实时动态差分技术，当待测光学元件样品的透反射率和标定样品的透反射率接近时，相当于把对待测光学元件样品的高透反射率测量转变成对待测光学元件样品和标定样品之间的透反射率差值的测量，即把一个大量转成对一个小量的测量，而绝对测量误差要求并没有改变，这相当于降低了对相对测量误差的要求，降低了难度，从而保证了测量精度能够满足要求。