一种射频放电引燃真空电弧起弧装置

摘要

一种射频放电引燃真空电弧起弧装置。本实用新型为了提高已有空心阴极真空电弧起弧稳定性。本实用新型包括空心阴极、射频电源、电弧电源、电感线圈、陶瓷绝缘帽、阴极法兰、绝缘垫、阴极夹等，阴极法兰通过绝缘垫与真空室绝缘密封连接，陶瓷绝缘帽与阴极夹螺纹连接，电感线圈串联至射频电源阴极与空心阴极的回路，射频电源和电弧电源的共同阴极和阳极分别连接空心阴极和工件。本实用新型具有稳定性起弧的特点。