微机械超声换能器以及电子系统

摘要

本公开的实施例涉及微机械超声换能器以及电子系统。一种微机械超声换能器，包括：膜元件，配置为发射或接收超声波，在超声波的发射或接收期间，膜元件以谐振频率关于平衡位置振荡，膜元件的平衡位置根据施加到膜元件的偏置电信号而可变化；以及帽结构，覆盖膜元件，帽结构在帽结构与膜元件之间形成腔体，腔体的体积根据膜元件的平衡位置而可变化，帽结构包括开口，开口被配置为将超声波输入腔体中或从腔体输出超声波，帽结构和膜元件用作可调谐的亥姆霍兹谐振器，在可调谐的亥姆霍兹谐振器中，谐振频率根据腔体的体积而可变化。利用本公开的实施例，微机械超声换能器的谐振频率可以补偿由于不可避免的工艺公差而导致的预定谐振频率的变化。