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电力导入装置及使用该电力导入装置的真空处理设备

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摘要

提供能对具有多个电极的基板保持件(7a)稳定地供给电力的电力导入装置(30)。电力导入装置包括：第一固定导电构件(39a)；第二固定导电构件(39b)；在第一固定导电构件与第二固定导电构件之间提供绝缘并被固定到绝缘框架(45b)的固定绝缘性构件(1039)；第一旋转导电构件(37a)；第二旋转导电构件(37b)；在第一旋转导电构件与第二旋转导电构件的提供绝缘并被固定到绝缘支柱(45a)的旋转绝缘构件(1037)；通过第一旋转导电构件及第一固定导电构件而对基板保持件供给第一电压的第一电力导入构件(29a)；及通过第二旋转导电构件及第二固定导电构件而对基板保持件供给第二电压的第二电力导入构件(29b)。

著录项

  • 公开/公告号CN103988292B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能安内华股份有限公司;

    申请/专利号CN201280061668.6

  • 发明设计人 杉恭辅;

    申请日2012-09-03

  • 分类号H01L21/683(20060101);C23C14/50(20060101);C23C16/458(20060101);H01L21/302(20060101);H01L21/31(20060101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人林振波

  • 地址 日本神奈川

  • 入库时间 2022-08-23 09:44:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2014-09-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20120903

    实质审查的生效

  • 2014-08-13

    公开

    公开

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