公开/公告号CN215539334U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 山东法恩泰科技工程有限公司;
申请/专利号CN202122202296.3
申请日2021-09-13
分类号B01D46/12(20220101);B01D46/88(20220101);
代理机构37290 青岛海知誉知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人唐修豪
地址 266000 山东省青岛市黄岛区长江中路3号鸿润广场23层2303
入库时间 2022-08-23 04:05:57
机译: 一种气体接收器中的阀装置的加压气体泄漏检测器,该加压气体泄漏检测器包括与容器连接并围绕该阀装置的房间,用于在住宅中形成空的空间,并具有用于检测泄漏的检测装置。气体和系统泄漏检测方法。
机译: 气体例如氩气,一种用于硅晶片加工/转移设备的真空室的泄漏检测方法,涉及产生气体等离子体并检测在等离子体发射的辐射光谱中测试气体的光谱线的存在
机译: 一种用于检测具有多个单元的气体传感器的故障状况的有无的气体传感器干扰检测装置