公开/公告号CN215490184U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏永昊净化科技有限公司;
申请/专利号CN202121668597.9
发明设计人 陈晓华;
申请日2021-07-22
分类号F24F8/10(20210101);F24F8/133(20210101);F24F3/14(20060101);F24F8/90(20210101);F24F11/89(20180101);F24F13/28(20060101);
代理机构32503 盐城海纳川知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人丁绘燕
地址 215200 江苏省苏州市吴江市同里镇屯南村
入库时间 2022-08-23 03:47:16
机译: 用于测量半导体洁净室压差的平衡计
机译: 洁净室入口控制方法,洁净室入口控制系统和送风系统
机译: 洁净室入口控制方法,洁净室入口控制系统和送风系统