公开/公告号CN215142827U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 河南郅强智能科技有限公司;
申请/专利号CN202121222737.X
发明设计人 谭志涛;
申请日2021-06-02
分类号B08B3/12(20060101);B08B3/10(20060101);B08B13/00(20060101);B08B3/08(20060101);F26B23/00(20060101);
代理机构41139 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人吴超
地址 473200 河南省南阳市方城县产业集聚区39号
入库时间 2022-08-23 03:21:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 专利号:ZL202121222737X 申请日:20210602 授权公告日:20211214
专利权的终止
机译: 半导体工艺设备零部件的超音速精密清洗
机译: 半导体加工设备零部件的超音速精密清洗
机译: 半导体加工设备零部件的超音速精密清洗