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一种金属化电容器薄膜生产用真空蒸镀装置

摘要

本实用新型公开了一种金属化电容器薄膜生产用真空蒸镀装置,包括壳体A,所述壳体A的一侧设置有壳体B,所述壳体B有两个,所述壳体A与所述壳体B的底部设置有安装座,所述壳体B的内部对称设置有安装轴,所述安装轴的顶部与底部对称设置有安装板,所述安装板的表面等角度开设有多个安装孔,所述安装轴贯穿通过所述安装孔的内部,所述安装轴的底部与所述安装孔之间设置有限位组件所述壳体A与所述壳体B的连接面设置有密封组件,所述密封组件包密封凸条、卡槽、密封垫A和密封垫B;该实用新型通过设计的密封组件便于提高壳体A与壳体B之间连接的密封性,使得薄膜在进行蒸镀时可以保持较好的真空状态,使得薄膜的蒸镀效果较好。

著录项

  • 公开/公告号CN215163062U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-12-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖北龙辰科技股份有限公司;

    申请/专利号CN202121022569.X

  • 发明设计人 林美云;吴忠平;

    申请日2021-05-13

  • 分类号C23C14/24(20060101);C23C14/20(20060101);H01G13/00(20130101);

  • 代理机构42247 武汉红观专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李季

  • 地址 438000 湖北省黄冈市高新技术开发区

  • 入库时间 2022-08-23 03:18:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-08

    专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C14/24 专利号:ZL202121022569X 登记号:Y2022420000072 登记生效日:20220323 出质人:湖北龙辰科技股份有限公司 质权人:黄冈市融资担保集团有限公司 实用新型名称:一种金属化电容器薄膜生产用真空蒸镀装置 申请日:20210513 授权公告日:20211214

    专利权质押合同登记的生效、变更及注销

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