一种升温稳容降低臭氧浓度的等离子体发生装置

摘要

本实用新型公开了一种升温稳容降低臭氧浓度的等离子体发生装置，包括依次贴合连接的上电极板、绝缘介质板、下电极板，上电极板、绝缘介质板、下电极板相对位置均等间距开设多个等离子通道，下电极板上远离绝缘介质板一面贴合连接升温稳容层；通过升温稳容层连接直流电源给其内部的电阻丝加热，当电流通过电阻丝时，电流做功而消耗电能，产生热量，提高整个等离子发生装置的工作温度，由于臭氧的分解与温度正相关，通过升温稳容层升温能够分解生成等离子体过程中产生的臭氧；在寒冷潮湿的环境中，还能够将介质板上的水分蒸发掉，提高介质板的温度，使得介质板长期处于干燥和温度较高的环境中，从而保持等离子体发生装置电容值处于稳定的状态。